Salles propres et environnements maîtrisés apparentés (US.FED.STD.209E)

Réglementation de Classification de Salles Contrôlées

US.FED.STD.209E

Nom de Classe Limites de classe
0,1 μm 0,2 μm 0,3 μm 0,5 μm 0,5 μm
S1 English m₃ ft₃ m₃ ft₃ m₃ ft₃ m₃ ft₃ m₃ ft₃
M 1   350 9,91 75,5 2,14 30,9 0,875 10 0,283    
M 1,5 1 1240 35 265 7,5 106 3 35,3 1    
M 2   3500 99,1 757 21,4 309 8,75 100 2,83    
M 2,5 10 12400 350 2650 75 1060 30 353 10    
M 3   35000 991 7570 214 3090 87,5 1000 28,3    
M 3,5 100     26500 750 10600 300 3530 100    
M 4       75700 2140 30900 875 10000 283    
M 4,5 1000             35300 1000 247 7
M 5               100000 2830 618 17,5
M 5,5 10000             353000 10000 2470 70
M 6               1000000 28300 6180 175
M 6,5 100000             3530000 100000 24700 700
M 7               10000000 283000 61800 1750